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河钢“芯片氪”,替代进口

来源:www.gbglg.com 时间:2022/1/16 15:51:00 浏览:

芯片是信息社会的基石。近年来芯片需求迅速扩大,芯片行业发展备受关注。

在芯片制造过程中,不仅需要用到光刻机、硅片等核心设备或材料,还需要用到一种特殊气体,业内称之为电子特气。

电子特气广泛应用于半导体制造的各个工艺流程,参与几乎每一个环节,对整个芯片制造来说不可或缺,有半导体制造的“血液”之称。

近年来芯片国产化程度不断提升,电子特气作为关键领域,也在加快推进国产化进程。

氪气是电子特气家族的一员,它作为刻蚀气体贯穿整个芯片刻蚀过程,起着清洁刻蚀表面杂质和保护电路不被氧化的作用。

近日,由河钢邯钢研发生产的电子特气产品“芯片氪”,交付高端科技客户,质量完全满足客户需求。该产品将作为刻蚀气体替代进口产品,用于制造IDM集成电路芯片,助力芯片国产化。

氪气的纯度会影响到集成电路性能等关键指标,所以用于芯片制造的氪气对纯度要求极高,生产工艺难度大。随着芯片制程的微缩,半导体生产对“芯片氪”等电子特气的纯度提出了更高的要求,而这类高端电子特气领域长期被国外垄断,进口价格昂贵。

国产“芯片氪”等电子特气替代进口,可降低国产芯片产业制造成本,有助于提高国产芯片在全球芯片产业中的竞争力。

河钢邯钢加快培育壮大战略性新兴产业,充分发挥省级高纯特种气体工程实验室作用,积极开展航天级稀有气体研制、电子芯片用特种气体配制及稀有气体分离设备关键部件研制,不断加大氪、氖、氙、氩、氖等特种气体以及混合气体的市场开发力度,提升气体产品竞争力。

针对芯片制造对气体纯度和杂质控制的极高要求,河钢邯钢高纯特种气体工程实验室技术人员,突破了电子特气国产化的诸多技术瓶颈,掌握了多项特气提纯关键技术,采用自主研发的全自动配气装置,配制出多种电子级混合气,填补了国内空白。

此次供货,河钢邯钢根据客户工艺流程和所需刻蚀气体的品质需求,制定了专属工艺方案,严格过程质量控制,保证了产品高质量交付,获得客户高度认可。下一步,双方还将就其他气体产品开展合作。